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最近更新：2020-01-01
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MKS Instruments · GM50A-100SCCM
GM50A系列质量流量控制器采用MKS专利的"压力不敏感"热式传感器，量程0-100 SCCM，精度±0.5%读数，重复性±0.1%。内置多气体数据库和自动标定功能，支持模拟和数字通信（RS-232/485）。产品具备独特的"Fast-Response"模式，响应时间可调至50毫秒。全金属密封，适用于高纯气体和腐蚀性介质。
高精度读数；快速响应；长期稳定；专业服务
MKS的传感器技术源自NASA的太空计划。；其产品在CVD和PECVD设备中市占率超过40%。
Brooks Instrument · SLA5850S
SLA5850S是Brooks旗舰级质量流量控制器，采用热式质量流量原理，量程0-50 SLPM，精度±0.5%满量程，响应时间<1秒。具备专利的"Auto-Zero"自动归零功能，可消除零点漂移。支持DeviceNet、EtherCAT等工业以太网协议，适用于半导体晶圆制造中的气体精确配比。全316L不锈钢流道，耐腐蚀且无颗粒脱落。
极致稳定；超长寿命；工业互联；全球服务
Brooks的MFC曾用于国际空间站气体循环系统。；其产品在ASML光刻机中作为气体控制核心部件。
七星华创（Sevenstar） · CS200-A
CS200-A数字质量流量控制器采用热式MEMS传感器，量程覆盖0-200 SCCM，精度±1%满量程，重复性±0.2%。支持RS-485/模拟通信，内置50种气体数据库，可通过软件在线标定。产品采用全金属密封结构，耐腐蚀性强，适用于腐蚀性气体。配备高清OLED显示屏，可实时显示流量和累计量，操作界面简洁。
国产自主；稳定可靠；高性价比；快速服务
七星华创的MFC曾用于"嫦娥"探月工程地面模拟系统。；其产品在国产光伏设备中市占率超过60%。
Alicat Scientific · MC-100SCCM-D
Alicat MC系列质量流量控制器采用层流压差式原理，内置温度、压力和流量传感器，无需外部补偿即可实现高精度控制。该型号MC-100SCCM-D量程为0-100 SCCM，精度达±0.6%读数或±0.1%满量程，响应时间低至10毫秒。支持多种气体预置曲线，可通过触摸屏或数字通信（RS-232/以太网）远程操作，适用于精密气体配比和微反应器供气。
极致精度；快速响应；多气体适应性；高可靠性
Alicat的传感器采用微加工硅芯片，体积仅指甲盖大小。；其产品曾用于NASA火星探测器气体分析系统。