电子束辐照系统(电子束光刻机)
蔡司 · Zeiss GeminiSEM 500
GeminiSEM 500是一款高分辨率电子束辐照系统,采用Gemini镜筒设计,分辨率可达0.8nm@15kV。集成电子束直写模块,可实现5nm线宽的光刻图案化,支持多场拼接和自动聚焦。配备高精度激光干涉样品台,适合纳米光子学、量子器件等前沿研究。
品牌故事
极致精度;德国工艺;前沿科研;全链条解决方案
科技原理 · 冷知识
蔡司曾为NASA提供电子束设备用于太空材料研究。;该系统的电子束可聚焦到原子尺度。
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蔡司 · Zeiss GeminiSEM 500
GeminiSEM 500是一款高分辨率电子束辐照系统,采用Gemini镜筒设计,分辨率可达0.8nm@15kV。集成电子束直写模块,可实现5nm线宽的光刻图案化,支持多场拼接和自动聚焦。配备高精度激光干涉样品台,适合纳米光子学、量子器件等前沿研究。
极致精度;德国工艺;前沿科研;全链条解决方案
蔡司曾为NASA提供电子束设备用于太空材料研究。;该系统的电子束可聚焦到原子尺度。
国仪量子 · SEM5000X
SEM5000X是一款紧凑型场发射扫描电镜,分辨率1.5nm@30kV,配备全自动电子枪、一键成像功能和AI辅助对焦系统。内置能谱分析模块,支持自动元素识别与定量分析。整机体积小巧,无需特殊地基,适合高校教学、材料初筛及质量控制场景。
普惠科技;智能化;国产自主;快速部署
该电镜的AI模型基于百万级电镜图像训练。;整机重量仅200kg,可放置于标准实验台。
日立高新 · Hitachi SU8600
SU8600是一款热场发射扫描电镜,采用日立专利的ExB滤波技术,可在低加速电压下获得高分辨率图像(1.0nm@1kV)。配备全自动样品交换仓、大视野探测器及实时三维成像功能,支持多能谱探头同时采集,适合绝缘样品和磁性材料的无荷电观察。
稳定可靠;低维护成本;易用性;广泛适用性
日立电镜曾用于观测蝴蝶翅膀的纳米结构。;该机型在锂电池隔膜检测中应用广泛。
赛默飞世尔科技 · Thermo Scientific Helios 5 CX
Helios 5 CX是一款集扫描电镜与聚焦离子束于一体的双束系统,配备Elstar电子镜筒和Monochromator单色器,分辨率可达0.6nm@15kV。支持TEM样品制备、三维重构、电路修补等应用,离子束束流范围1pA-100nA,适合高端半导体和材料研究。
极致精度;多功能集成;工业级可靠性;全球技术生态
该电镜曾用于分析火星陨石中的纳米矿物。;其离子束可加工出直径仅10nm的孔洞。
中科科仪 · KYKY-EM8100F
KYKY-EM8100F是一款高分辨率场发射扫描电子显微镜,采用肖特基场发射电子枪,分辨率可达1.0nm@30kV。配备全自动样品台、能谱分析系统及图像处理软件,支持二次电子、背散射电子成像模式,适用于纳米材料、金属、陶瓷、生物样品等微观形貌与成分分析。
国产自主可控;高性价比;全自动化操作;本土化服务
中科科仪曾为中国首颗原子弹提供关键真空部件。;该电镜的电子枪寿命可达2000小时以上。