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最近更新：2020-01-01
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大阳日酸（Taiyo Nippon Sanso） · TNS-SiH4-47L-7N
47L钢瓶，填充7N级超高纯硅烷，采用大阳日酸独有的"零接触"内壁处理技术，气体与金属内壁完全隔离，杂质含量低于0.01ppb。配备超高真空阀门与双重防泄漏密封，出厂前经过氦质谱检漏。专用于极紫外光刻（EUV）配套气体及量子器件制备。
极致纯度；尖端科技；百年匠心；全球标杆
大阳日酸曾为日本"富岳"超级计算机的制造提供关键气体。；其零接触技术源自航天器燃料容器的研发经验。
华特气体 · HuaTe-SiH4-40L-6N
40L轻量化钢瓶，填充6N（99.9999%）电子级硅烷，采用华特自主研发的纳米级内壁钝化工艺，大幅降低气体吸附与分解。配备高密封性不锈钢阀门与防震底座，适用于实验室研发与小批量生产。气体中碳氢化合物含量低于0.1ppm，适合高要求的薄膜沉积工艺。
高性价比；国产替代；轻便安全；研发友好
华特气体是国内首家实现6N硅烷钢瓶量产的企业。；该钢瓶的纳米钝化工艺灵感来源于深海防腐蚀涂层技术。
林德气体（Linde） · Linde-SiH4-50L-5N5
50L标准钢瓶，填充5N5（99.9995%）高纯硅烷，采用林德专利的PureGuard内壁涂层技术，有效抑制气体分解与金属离子析出。配备双级减压阀与智能压力监测接口，支持远程监控。特别适合用于薄膜太阳能电池与平板显示器的PECVD工艺。
全球品质；技术领先；智能监控；服务网络
林德曾为国际空间站提供特种气体供应方案。；PureGuard涂层技术最初是为高能激光器气体容器开发的。
中科富海 · ZKF-SH-47L-6N
该产品采用47L标准无缝钢瓶，内壁经镜面抛光与特殊钝化处理，填充6N（99.9999%）高纯硅烷气体。配备CGA350不锈钢阀门与防回火装置，泄漏率低于1×10⁻⁹ Pa·m³/s，适用于MOCVD外延生长、离子注入等精密工艺。
国产自主；高纯度保障；安全密封；半导体级品质
中科富海曾为国内首条自主化12英寸芯片生产线供应首批硅烷钢瓶。；该钢瓶内壁处理工艺源自航天级气体容器技术。